鄭州正春凈化設備有限公司
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河南凈化工程公司認為控制設備噪聲首先應從聲源上著手,設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下,由于技術或經濟的原因而難于做到時,則應從噪聲傳播途徑上來采取降噪措施。例如,把高噪聲工藝設備遷出潔凈車間或隔離布置于隔聲間內。必須置于潔凈車間內的高噪聲設備,亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內有些潔凈車間將機械泵一類高噪聲設備置于潔凈車間外套間,或技術夾道或服務區內,潔凈車間噪聲有明顯的降低。
潔凈車間的靜態噪聲主要來源于凈化空調系統和局部凈化設備運行噪聲,靜態噪聲的大小與潔凈車間氣流流型、換氣次數等因素有關。但關鍵在于凈化空調系統的合理布置及合理的降噪措施。
排風系統噪聲對潔凈車間影響極大。以集成電路生產為例,在生產過程中,外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設排風系統。近年來,對于潔凈廠房排風系統噪聲治理日益受到重視,注意選用低噪聲風機等。
潔凈車間的密封性能比較好,噪聲不易衰減,由于潔凈車間內的工作環境要求比較安靜,按規定減少風管風速,既減少了凈化空調系統的阻力,降低了風機壓頭和轉速,減弱了風機噪聲,又防止了風速過大而產生的附加噪聲。
噪聲控制
潔凈室內的噪聲級(空態),非單向流潔凈室不應大于60dB(A),單向流、混合流潔凈室不應大于65 dB(A)。
潔凈廠房的平、剖面設計應考慮控制要求。潔凈室的維護結構應具有良好的隔聲性能,并使各部分隔聲量相接近。
潔凈室內的各種設備應選用低噪聲產品。對于輻射噪聲值超過潔凈室允許值的設備,應設置專用隔聲設施(如隔聲間、隔聲罩等)。
凈化空調系統噪聲超過允許值時,應采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。潔凈室內的排風系統除事故排風外應進行減噪設計。
凈化空調系統,根據室內容許噪聲級要求,風管內風速宜按下列規定選用總風管: 6-10m/s;無送、回風口的支風管為4-6m/s。
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